磨削痕迹相关论文
硅晶圆是IC最常用的基底材料。随着IC制造技术的迅猛发展，对硅晶圆表面粗糙度、表面缺陷和硅晶圆强度提出更高的要求。而磨削因为其......
以弧齿锥齿轮经磨齿后的齿面为研究对象,根据弧齿锥齿轮磨削原理,求解得到齿面磨削痕迹,并建立了弹流油膜寿命预测方程。在此基础......
