离子体鞘相关硕士博士期刊学术论文

该文研究了在等离子体浸没离子注入（ＰＩＩＩ）中介质材料（高聚物、半导体等）为被注入对象时，其周围离子体鞘的扩展厚度和电势特征。在常规应用中......