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宽束径离子束抛光KDP晶体表面粗糙度特征研究
为了研究离子束抛光KDP晶体工艺参数对表面粗糙度的影响,实现对KDP晶体的抛光,文中使用微波离子源对KDP晶体进行抛光加工,采用非接......
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离子束抛光
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