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集成电路缺陷分布模型的容错技术研究
该文对集成电路制造过程中的缺陷空间分布模型和IC的容错结构及其成品率做了系统地理论研究,主要研究结果如下:根据缺陷在圆片上的......
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空间颁模型
负二项式分布模型
容错结构
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