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窄间隙介质阻挡放电相关论文
窄间隙介质阻挡放电快速降解水溶液中苯酚研究
窄间隙(0.1 mm)介质阻挡放电等离子体源输出高浓度(316 mg/L)、高压强(0.15MPa~0.25 MPa)氧活性粒子,再将其直接喷射到输液管道中,它......
会议
窄间隙介质阻挡放电
氧活性粒子
苯酚溶液
输液管道
窄间隙介质阻挡放电清除硅片表面颗粒污染物
硅片清洗技术已成为制备高技术电子产品的关键技术.采用窄间隙介质阻挡放电方法研制了低温氧等离子体源,把氧离解、电离、离解电离......
期刊
窄间隙介质阻挡放电
硅(Si)
臭氧超净水
清洗
颗粒污染物
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