等倾干涉仪相关论文
该文对等倾干涉理论进行了深入研究和分析,采用CCD探测技术,把干涉系统和计算机结合起来完成了等倾干涉图像的实时采集和自动数据......
采用三平面互检测量方法,分别在等倾干涉仪和相移干涉仪上对平晶平面度进行了绝对测量比对。针对两种干涉仪不同的测量原理,提出了......
为实现平晶平面度的快速测量,运用机器视觉技术对等倾干涉仪进行改造。计算机对CCD采集的干涉图进行实时处理,再利用所有像素样本点(......