等离子体化学气相沉积(PCVD) 相关硕士博士期刊学术论文

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采用红外分析、金相技术及和透射电子显微（ＴＥＭ）技术分析了射频ＰＣＶＤ法沉积氮化硼膜的形成过程。结果表明，在沉积过程中，非晶态氮化硼（ａＢＮ）作为领先......

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