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等离子体增强气相化学沉积相关论文
PECVD法制备掺磷非晶硅薄膜及其结构和性能的研究
当前,非晶硅薄膜太阳能电池以其成本低,工艺简单,能量回收时间短等优点得到了广泛关注。根据衬底状况和各层沉积顺序的不同,非晶硅......
学位
等离子体增强气相化学沉积
非晶硅薄膜太阳能电池
n型氢化非晶硅
有序度
折射率
暗电导率
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