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等离子活化键合相关论文
三维相变存储阵列驱动二极管的制备研究
结合新一代高集成度三维集成电路和新型相变存储技术,以三维相变存储单元阵列的实现为目标,进行了用于存储单元的驱动和开关作用的......
期刊
三维集成电路
智能剥离
二极管阵列
等离子活化键合
键合技术
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聚焦离子束
特性曲线
存储阵列
实验探索
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