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RF等离子体聚合类聚氧化乙烯(PEO—like)功能薄膜研究
采用射频等离子体,以乙二醇二甲基醚(Ethylene Glycol Dimethyl Ether)为聚合单体,用氩气作为工作气体,合成类聚氧化乙烯(PEO-like)官能聚......
期刊
射频等离子体增强化学气相沉积
乙二醇二甲基醚
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RF-PECVD
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