籽晶提升机构相关硕士博士期刊学术论文

生产高精度硅晶体的单晶炉,其上部的籽晶提升机构为转轴竖直安装的非对称低速旋转机构,生产过程中下面软轴的摆动幅度是衡量单晶炉......