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粒子模拟与蒙特卡罗相结合相关论文
电子回旋共振放电的理论计算机模拟进展
电子回旋共振(ECR)等离子体因具有低气压、高密度、高电离度等优点而被广泛地应用于微电子工业中。ECR放电及其生成等离子体的理论......
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