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粒子轰击能量相关论文
不同轰击能量下CrN硬质薄膜的生长方式和择优取向变化
用闭合场非平衡磁控溅射离子镀(CFUBMIP)系统沉积制备CrN硬质薄膜,通过调节偏压改变薄膜沉积过程中离子轰击能量。采用XRD分析薄膜的......
期刊
CRN薄膜
粒子轰击能量
薄膜生长方式
择优取向
CrN films ion bombardment energy film growth preferred
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