精密气浮运动平台相关论文
精密气浮运动平台是一个复杂的运动学系统,它具有高精度,高速度,高加速度等特点。它采用的两项关键技术:直线驱动技术和静压气浮导......
精密气浮运动平台具有高精度、无摩擦、低污染等特点,在光刻技术、超精密加工、生物检测技术、纳米表面形貌测量等领域具有广泛的应......