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离子束合成钇硅化物的结构及红外谱特征
将稀土金属钇离子注入到n型单晶Si(111)中制备出钇硅化物埋层.利用x射线衍射、卢瑟福背散射和傅里叶红外吸收谱测量分析了样品的结......
期刊
钇硅化物
离子注入
红外光辐照处理
特征红外光谱
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