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中微半导体设备(上海)有限公司的90/65纳米介质刻蚀机荣获2008年度中国半导体创新产品和技术奖.......
由于化学极性不同,HFCs工质与矿物油的相溶性差,因而HFCs制冷系统需要采用合成油(如PAG或POE)作为冷冻机油。纳米介质具有小尺寸效......
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