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纳米周期膜相关论文

基于X射线反射研究溅射工艺对CrAlN／TiAlN周期膜界面结构的影响

为研究X射线反射技术在纳米多层膜界面微结构表征中的应用，采用反应磁控溅射技术在单晶硅基片上制备CrAlN／TiAlN纳米周期膜，利用x射线......

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磁控溅射纳米周期膜 CrAlN/TiAlN X射线反射界面微结构 magnetron sputtering nano-scale multilayer

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