纳米多层与复合薄膜相关硕士博士期刊学术论文

本文介绍了碳系列薄膜、纳米多层及纳米复合超硬薄膜近年来所取得的研究成果 ,重点是氮化物纳米多层与复合超硬薄膜的研究状况 ,并......