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Cu/low-k介质化学机械抛光中的表面接触分析
随着超大规模集成电路导线线宽尺度向32nm及以下发展,将导致芯片的运行速度会随着集成度的提高而变慢。为了继续提高芯片的运行速度......
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晶圆尺度
线宽尺度
有限元
等效应力
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