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离焦激光直写的线宽稳定方法
为了提高激光直写加工衍射光学元件时的线条质量,提出一种离焦激光直写的线宽稳定方法。该方法通过同时调节激光功率和离焦量,使光......
期刊
集成光学
线宽稳定性
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极坐标激光直写若干控制关键技术理论研究
衍射光学元件是航天、航空、国防和通信等领域的关键器件之一,随着科学技术的进步,对衍射光学元件的功能和加工精度提出了越来越高......
学位
激光直写
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