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编码灰阶掩模相关论文

灰阶编码掩模制作微光学元件

提出一种基于改变灰阶编码掩模的单元形状和位置的掩模设计新方法 ,并根据成像过程中的非线性因素 ,用这种方法对掩模图形进行了预......

期刊

编码灰阶掩模光刻微光学元件

编码灰阶掩模酶蚀明胶法制作折射微透镜阵列

提出一种以重铬酸铵明胶作为记录材料，用编码灰阶掩模曝光，蛋白酶溶液作为显影剂制作折射型微透镜阵列的新方法。给出了具体实验结果......

期刊

微光学元件折射微透镜编码灰阶掩模重铬酸盐明胶蛋白酶溶液

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