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双光谱法实现光刻工艺中的胶厚检测
提出了一种光刻胶厚度测量方法,即双光谱法。采用AZ4620正型光刻胶甩胶于平面玻璃基片,以椭偏仪测量的结果为基准。通过双光谱法的测......
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双光谱法
胶厚检测
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