脉冲磁控放电相关论文
随着涂层从第一代的单元到第二代的多元,发展到现在第四代的纳米多层和超晶格,膜层性能逐渐提高,但其膜基结合力却受到越来越严峻......
本文详细讨论了同轴场式脉冲磁控放电真空度测量的有关问题,包括磁控真空计工作过程中的放电行为、产生稳定的磁控放电所必须满足的......