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Si在SF6+N2中反应离子刻蚀及其剖面的研究
本文报导了用SF_6+N_2混合气体反应离子刻蚀Si及其剖面的实验结果,研究了在刻蚀时,混合气体的成份和射频功率密度对Si的蚀速影响以及Si的负载效应,通......
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反应离子刻蚀
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