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自检式石英振梁加速度计的极板间距研究
极板间距与自检式石英振梁加速度计的自检性能密切相关。过大的极板间距影响器件的工程化,过小的极板间距无法满足器件工作位移,因......
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自检式
石英振梁加速度计
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极板间距
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