薄膜厚度均匀性相关论文
本课题主要对金属层间介质薄膜的片内厚度均匀性这一重要的集成电路制造工艺指标展开研究,从金属层间介质薄膜的化学气相淀积（Chemi......
该文以如何提高薄膜收卷质量为宗旨,以LLDPE拉伸膜作为研究对象,对影响薄膜收卷质量的因素进行系统地研究,并提出解决问题的方法措......
磁控溅射镀膜是现代工业中不可缺少的技术之一，广泛应用于电子，建筑，汽车等行业中。尤其适用于大面积镀膜生产。镀膜工艺中的薄膜厚度......
文章以大口径反射镜片的镀膜技术为主要研究内容,对大口径反射镜的膜系进行了理论分析,对薄膜牢固性、保护膜技术以及薄膜厚度均匀......
针对增强型X射线时变与偏振探测卫星（eXTP)项目中嵌套式聚焦成像望远镜对柱面镜片上W/Si多层膜的要求，在掠人射角为0.5°工作波......
ue＊M＃’＃dkB4＃＃8＃”专利申请号:00109“7公开号:1278062申请日:00.06.23公开日:00.12.27申请人地址:（100084川C京市海淀区清华园申请人:清......
镀膜工艺中的薄膜厚度均匀性问题是实际生产中十分关注的。本文在现有的理论基础之上,对溅射镀膜的综合设计方法进行了初步的建立......
