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薄膜均匀相关论文
低温原子层沉积氧化铝作为有机电致发光器件的封装薄膜
为了克服传统的原子层深沉积反应温度高于有机材料的玻璃化温度对有机电致发光器件性能产生破坏的缺点,使用低温原子层沉积的方法......
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原子层沉积
薄膜均匀
低温
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