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双轴应变硅MOS器件的自热效应研究
随着集成电路的快速发展,等比例缩小技术已经不能满足摩尔定律,应变硅MOS器件成为后硅时代研究的热点。应变硅技术通过拉伸或压缩......
学位
双轴应变硅MOS器件
自热效应
热阻
薄虚拟衬底
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