蚀刻气相关论文
作为一种高效、环保的新型蚀刻气,六氟丁二烯已受到半导体行业的广泛重视。本文介绍了多年来六氟丁二烯合成方法的发展和未来动向......
六氟丁二烯(C4F6或HFBD)用于制备各类共聚物,近些年主要应用在微电子集成电路方面.在全球电子气体市场上,氟系列占30％左右,含氟电子......
