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针对机械式衍射光栅刻划机精密定位工作台定位过程中产生的振动信号特性与光学性能指标（杂散光强度和波前质量）之间的关系，提出利用改......
采用高精度的衍射光栅刻划机刻划依然是制作高质量母光栅最重要的手段，因此，跟踪世界光栅刻划机的最新技术进展具有重要的现实意义。......
本文介绍以８０３１单片机为核心研制成的衍射光栅刻划机的开环控制的高精度定位系统。系统中采用了光栅干涉仪、程控放大器、干涉条纹细分......
根据衍射光栅刻划机刀架导轨的精度指标要求以及刻划机的整体结构，设计了刀架导轨并建立了三维模型。运用ANSYS软件进行了刀架导轨......
大行程高精度定位技术在天文物理学、同步辐射工程以及激光核剧变等科技领域中有着举足轻重的作用。同时,随着生物芯片技术、生物......
近年来,随着工业领域如微型机械制造、超精密测量、超精密加工、集成电路制造、生物工程、医疗科学、光纤对接和机器人系统等众多......
大面积高精度衍射光栅是大型空天地观测仪器的核心光学器件,由于其大尺寸高精度的要求,机械式刻划是其唯一的制造方式。光栅刻划机......
