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高场应力及栅应力下AlGaN/GaN HEMT器件退化研究
采用不同的高场应力和栅应力对AlGaN/GaN HEMT器件进行直流应力测试,实验发现:应力后器件主要参数如饱和漏电流,跨导峰值和阈值电......
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AlGaN/GaN HEMT器件
表面态(虚栅)
势垒层陷阱
应力
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