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FB-CVD方法制备SiC包覆层过程中的MTS裂解气体分析
高温气冷堆核燃料元件采用TRISO型四层包覆燃料颗粒,其中SiC层是阻挡裂变产物的关键层,为采用流化床化学气相沉积(FB-CVD)方法制备......
会议
高温气冷堆
核燃料元件
碳化硅包覆层
流化床
化学气相沉积
甲基三氯硅烷
裂解气体
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