诱生微孔相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

诱生微孔相关论文

ELC制备TFT用多晶硅薄膜相关工艺的模拟与实验研究

准分子激光晶化(ELC)制备多晶硅薄膜是当前制造低温多晶硅TFT的主流技术。本文利用分子动力学模拟方法研究了其部分工艺的原子级行......

学位

薄膜晶体管分子动力学模拟热导率脉冲熔化诱生微孔

多晶硅薄膜ELC制备方法中控制纵向热流的探索

准分子激光晶化（ELC）制备多晶硅薄膜是当前制造低温多晶硅TFT的主流技术。本文在非晶氮化硅栅绝缘层中特定区域引入气泡区或者微孔区......

期刊

多晶硅薄膜 ELC制备方法诱生微孔多晶硅

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