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谐振面积相关论文
谐振面积与电极图案对质量传感器性能的影响
在p型(100)单晶Si基衬底上,利用磁控溅射设备完成直流溅射Mo/Ti布拉格反射层和射频反应溅射AlN压电层,用光刻微加工工艺设计了不同谐......
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磁控溅射
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