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工艺参数对氮化硼薄膜结构相的影响
六角氮化硼(h-BN)和立方氮化硼(c-BN)由于其优异的物理化学性质受到越来越多的重视,作为新型的人工合成功能材料,它们具有极其广泛的应用......
学位
微波电子回旋共振化学气相沉积
等离子体增强化学气相沉积
射频磁控溅射
取向六角氮化硼
、立方氮化硼
负偏地
衬底温度
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