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微加工超净实验室是微机电系统（micro-electro-mechanical systems,MEMS）研究的基础条件。超净实验室涉及多种大型微加工设备和相应......

洁净室的建设涉及专业多、成本高、工艺复杂,科学设计和安全管理显得尤为重要。南京工业大学有机光电子器件洁净室为改建工程,通过......

为提高超净间洁净度，克服传统超净间控制方式固有缺陷，可采用光通讯技术设计一种超净间智能控制装置。该智能控制装置利用LED灯的闪......