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超声雾化喷涂化学气相沉积(USP-CVD)相关论文
采用USP-CVD沉积SnO2透明导电膜——F、Sb掺杂及特性研究
以F、Sb掺杂,采用超声雾化喷涂化学气相沉积工艺制备出二氧化锡透明导电膜.对SnO2:F薄膜的沉积工艺进行了研究,探索出最佳的工艺条......
期刊
超声雾化喷涂化学气相沉积(USP-CVD)
SnO2:F
SnO2:Sb
NH4F
HF
ultrasonic spray CVD SnO2∶F SnO2∶Sb
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