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超硬溥膜相关论文
射频磁控溅射制备TiB2超硬薄膜及其显微结构和性能的研究
目前,将TiB2纳米晶薄膜用作耐磨涂层在材料学界越来越引起重视。低压磁控溅射设备具有通过控制离子轰击达到提高薄膜质量的优势,因......
学位
TiB2薄膜
射频磁控溅射
结构区域模式
离子轰击
超硬溥膜
显微结构
掠入射XRD
同步辐射
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