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超衍射光刻相关论文
基于自组装PS球阵列的超衍射光刻
纳米科学是在纳米尺度上研究物质的产生、特性、相互作用规律及应用技术的科学。当宏观物体减小到纳米尺度时,由于出现明显的表面效......
学位
纳米结构
微细加工
聚苯乙烯纳米球阵列
超衍射光刻
自组装
倏逝波
表面等离子体
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