超超低阻靶材相关硕士博士期刊学术论文

介绍超超低阻靶材（ρ〈０．０５Ω．ｍｍ＾２／ｍ）的制造工艺及其性能，使用该靶材，不仅能提高金属薄膜电阻的生产效率和产品性能，而且对环境基本不污染。......