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轴向气相沉积法相关论文
轴向气相沉积法F掺杂对玻璃的腐蚀作用
利用轴向气相沉积法制备高掺F光纤预制棒过程中,CF4作为掺F源,在高温状态下,对所接触到的玻璃器皿产生腐蚀作用。本文研究了CF4气......
期刊
轴向气相沉积法
高掺F
CF4
腐蚀
Axial vapor depositiondoped FCF4corrosion
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