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分析了监控光带宽对薄膜淀积时膜厚极值点的影响,建立了模拟薄膜实际淀积过程的计算机模拟程序,通过对几种窄带滤光片膜系结构的模......
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窄带滤光片
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真空蒸镀
WDM系统
薄膜透过率
narrowbandwidth filter monitoring light′s
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