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过滤线圈电流相关论文
采用双等离子体制备非晶态碳膜的研究
采用直流金属磁过滤阴极真空弧(FCVA)制造出Ti和乙炔(C2H2)气体的双等离子体在单晶硅(100)上制备非晶态碳膜.重点研究了乙炔气体和过滤线......
期刊
非晶态碳膜
磁过滤阴极真空弧
过滤线圈电流
乙炔的体积流量
结构和性能
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辐射物理与技术——采用双等离子体制备非晶态碳膜的研究
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