运动台相关论文
光刻机是支撑集成电路芯片制程不断减小的关键设备，而高性能的光刻机需要高加速度和高精度的运动台作为支撑。为了达到光刻机的各项......
直线超声电机直接驱动的精密运动台可以很好地兼顾大行程和高精度的特点,且结构简单、易于控制.为了进一步提高这种平台的定位精度......
在高世代光刻机运动扫描中,G6、G10运动台质量大,加速度大,电机输出力达上万牛,同时还要求扫描性能在纳米级别;永磁同步直线电机(......
利用三维建模软件UG建立了50mm交叉滚柱导轨运动台三维模型,利用有限元分析软件ANASY Workbench14对交叉滚柱导轨运动台进行模态频......
在高世代光刻机运动扫描中,G6、G10运动台质量大,加速度大,电机输出力达上万牛,同时还要求扫描性能在纳米级别;永磁同步直线电机(......
作为硅片检测系统的运动定位载体,精密运动台是实现硅片检测的关键设备。随着硅片尺寸日趋扩大和特征尺寸的不断缩小,对精密运动台......
