逐点光刻相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

逐点光刻相关论文

基于相位恢复和紧聚焦光场整形的衍射光学元件设计

随着信息技术的高速发展，在光存储、光刻、光学成像等领域都需要实现纳米尺度的光斑，并且在一定条件下要特定的光强分布才能满足应用......

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相位恢复矢量衍射超分辨相位板无衍射光束纳米尺度逐点光刻图像相位恢复算法

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