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基于电化学放电的微细钻孔加工试验研究
玻璃、陶瓷等非导电脆性材料具有良好的脆硬性、耐热性、耐化学腐蚀性等,被越来越多的应用于微型器械以及MEMS领域,但由于材料的特殊......
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微细加工
非导电材料
电化学放电加工
微细钻孔
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