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重掺砷衬底氧本征吸杂能力的探讨
<正>虽则集成电路级单晶衬底的氧本征吸杂工艺已作过广泛的探讨,重掺衬底的氧本征吸杂研究还仅是近年来才开始的.与体材料相比,采......
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重掺砷衬底
氧本征吸杂
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