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量子效应密度相关论文
基于TCAD方法的22纳米非平面器件研究
随着摩尔定律的不断推进,器件的尺寸在不断的缩小,为了抑制日益严重的短沟道效应,增强器件的栅控能力,人们提出了一种新型三维非平面器......
学位
TCAD法
非平面场效应晶体管
线边缘粗糙
侧墙倾斜
沟道截面
量子效应密度
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