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金刚石刀具轮廓相关论文
面向微结构阵列的超精密切削加工与测量关键技术研究
微结构阵列是指具有规则阵列分布的微观几何拓扑形状及特定功能的一类微结构表面。微结构阵列的微观和宏观几何形貌决定了器件的功......
学位
微结构阵列
超精密切削
快速刀具伺服
拼接加工
微结构缺陷
在线检测
金刚石刀具轮廓
表面形貌
原位测量
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