金属互联相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

金属互联相关论文

基于气浮喷射的MEMS封装中通孔的金属互联

在微机电系统（MEMS）圆片级封装中,通孔缺陷极有可能降低芯片与外界电互联的可靠性.采用气浮沉积的方法,在通孔底部沉积纳米银浆,形成......

期刊

圆片级封装气浮沉积金属互联欧姆接触纳米银浆 wafer level package aerosol dePosition metal interconn

金属连线间形成空气隙的改进工艺研究

在射频开管器件中,导通电阻和关断电容是衡量射频开管器件优良与否的关键参数。而后段金属连线之间的电容对整体的电容有直接影响......

期刊

集成电路制造金属互联空气隙寄生电容射频开关

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